一、采购标的需实现的目标
能够在室温到*°C对金属、陶瓷、薄膜、聚合物等样品进行标准纳米压痕、连续刚度法纳米压痕、变应变速率纳米压痕、纳米压痕疲劳、快速纳米压痕成像实验、高精度纳米压痕成像实验等测试，获得相关条件下的硬度、模量、蠕变、屈服、纳米磨损性能、断裂韧性、应力松弛、疲劳等性能。
二、采购标的需执行的标准
GB/T *-* 仪器化纳米压入试验方法通则
三、参数
*.纳米压痕:
▲*.*力量加载方式：静电压驱动；
*.*最大载荷：≥* mN；
*.*载荷分辨率：≤* nN；载荷噪音背景：≤* nN；
*.*位移测量方式：电容传感器；
*.*最大压入位移：≥* μm；
*.*位移噪音背景：≤0.* nm；
*.*热漂移(在室温条件下)：≤0.0* nm/s；
*. 纳米磨损:
*.*通过压电陶瓷扫描连带电容传感器进行纳米磨损测试，可无缝配合原位扫描成像算出移除体积；
*.*磨损面积范围至少覆盖：* μm×* μm-* μm×* μm；
*. 原位扫描成像及定位系统：
▲*.*不更换样品台，可以对样品进行连续不间断的*D原位扫描成像；扫描过程中压头在动，而非样品台在动；原位扫描探针的位置控制精度：压痕±* nm的位置；
*.*扫描频率不小于：0.0* Hz–*.0 Hz；
*.*扫描分辨率: ≥*×*像素点；
*. 快速压痕模块：
★*.*高速力学特性测试：每秒钟≥*个压痕点；
*.*快速、高分辨率硬度和模量统计分布特性图像；
*.*可自动与原位扫描成像图像叠加，做力学与表面形貌分布图；
*. 动态纳米力学
*.*系统能够通过连续刚度测量模式来测量接触刚度、硬度和弹性模量随压痕深度的连续函数分布，测试频率范围至少覆盖：0.*Hz-*Hz；
*.*最大动态振幅力：≥*mN；
*.*最大准静态力：≥*mN；
*.*最大动态振幅：≥*.*μm；
*.*最大准静态位移：≥*μm；
*.*位移噪声背景：≤0.*nm；
*. 温度模块
★*.* 温度操作范围：室温到*℃；
*.* 采用PID温度反馈控制使样品快速的达到测试温度，并保持平衡；
*.* 采用微腔式加热，样品顶部和底座兼有加热和温度反馈功能，同时腔体上下均采用循环水冷却系统来保证加热温度的稳定性；
*.* 加热速率：≥*℃/min；温度分辨率：≤0.*℃；控温精度：≤0.*%；
▲*.*可以在高温下进行纳米压痕、纳米摩擦、原位扫描成像、快速压痕和动态力学测试等；
*. 光学系统:
*.* 具备连续变焦功能；
*.* 显示屏放大倍数至少覆盖：*-*；
*. 高精密定位平台:
▲*.*可以兼容各种形状的样品，样品尺寸: ≥* mm×* mm×* mm；
▲*.*X-Y方向平台可移动范围: ≥* mm×* mm；
★*.*Z方向可移动范围：≥* mm；
*.* X、Y方向步长分辨率: ≤* nm；Z 步长分辨率: ≤* nm;
*. 数据采集和控制系统:
*.*设备可以在力和位移反馈控制模式下工作；
*.*反馈回路频率≥* kHz；
*. 软件
*.* 包含专用的力学测试软件，包括纳米压痕、连续刚度测量纳米压痕、动态力学分析、疲劳测试、变应变速率纳米压痕、压头尺寸校正等；
*.* 软件能自动保存每次实验的参数和设置；后续实验时用户可直接导入之前的测试参数和设置进行操作；
*.* 模量、硬度、接触深度、接触刚度及接触面积自动计算；
*.* 包含终身免费的软件升级。
★三、配置要求
*、一台高通量纳米压痕仪，包含减震台和环境隔离罩
*、一套测试和数据分析软件
*、一个不低于*mN载荷量程的传感器
*、一个压电陶瓷扫描管
*、四枚室温金刚石压头
*、一套高温测试模块
*、两枚高温金刚石压头
*、电脑和显示器各一台
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